晶格領(lǐng)域液相法生長碳化硅半導(dǎo)體晶圓項目進(jìn)展順利
位于中關(guān)村順義園的晶格領(lǐng)域液相法生長碳化硅半導(dǎo)體晶圓項目由中科院物理所陳曉龍教授牽頭實施,計劃投資7.5億元,建設(shè)4—8英寸液相法碳化硅半導(dǎo)體晶圓研發(fā)及生產(chǎn)線,預(yù)計滿產(chǎn)年產(chǎn)能10萬片,實現(xiàn)年產(chǎn)值6億元。其中,一期投資5000萬元,租賃順義科創(chuàng)集團(tuán)工宇基地標(biāo)準(zhǔn)化廠房1050平方米,建設(shè)4—6英寸液相法碳化硅晶體生長中試線。截至目前,項目廠房已裝修完畢,第一批設(shè)備全部進(jìn)場,并開始試生產(chǎn)。






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